Турбомолекулярные насосы
Форвакуумные насосы могут создавать средний (102 – 10-1 Па) или высокий вакуум (10-1 – 10-5 Па). Для задач, требующих создания сверхвысокого вакуума (10-5 до 10-8 Па), к форвакуумному насосу подключается турбомолекулярный насос, который начинает откачивать на этапе достижения среднего или высокого вакуума и поддерживает давление около 10-8 Па. Управление насосом осуществляется с помощью контроллера, который позволяет точно регулировать скорость вращения ротора. Производительность насосов зависит от молекулярного веса газов и находится в диапазоне от 22 л/мин у самого малого насоса до 4500 л/с у самого производительного насоса с консистентной смазкой.
Отличительные особенности турбомолекулярных насосов:
- низкое энергопотребление;
- независимость от ориентации в пространстве;
- большие интервалы техобслуживания (до 5 лет).
Основные области применения — это производственные установки для напыления тонких пленок, плазменного травления, для задач микроэлектроники, а также исследовательские установки для масс-спектрометрии, для физики элементарных частиц.
Производитель турбомолекулярных насосов KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. более 60 лет разрабатывает и серийно выпускает помимо турбомолекулярных насосов сканирующие микроскопы, гелиевые течеискатели, ионные насосы. На протяжение последних десятилетий KYKY развивается и обеспечивает заказчиков по всему миру вакуумными решениями высокого качества по оптимальной стоимости.
Турбомолекулярные насосы для приборостроения отличаются компактностью, малым весом, но в то же время высокой скоростью откачки (22-300 л/сек). Насосы оснащены функцией торможения, что обеспечивает быстродействие включения и выключения, критичное как для производств, так и для научно-исследовательских экспериментов. Для дополнительной гарантии правильной работы анализаторов и других приборов насосы имеют точную регулировку скорости.
Таблица 1
*Число соответствует входному диаметру фланцев стандарта CF или KF. У некоторых насосов имеется исполнение с воздушным охлаждением, а стандартно все насосы изготавливаются с водяным охлаждением.
Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой обладают высокой и стабильной производительностью (до 4500 л/сек), отличаются возможностью работы при повышенных температурах и запыленности.
Таблица 2
Модели, перечисленные в следующих двух таблицах, находят своё применение в ядерных исследованиях, биотехнологиях, криогенике, научно-исследовательских работах по изучению плазмы, электронно-лучевой сварке.
Таблица 3
Таблица 4
| F-100/150 | FF-160/620 | FF-200/1200 | F-250/1500 | FF-250 1600G | F-400 |
| LED / OLED | |||||
| Покрытие для жестких дисков | |||||
| Фотовольтаика | |||||
| Вакуумное напыление (PVD) | |||||
| Изготовление CD / DVD / Blu-ray (PVD) | |||||
| Оптическое покрытие (PVD) | |||||
| Защита от износа (PVD, CVD) | |||||
| Медицина | |||||
| Промышленное обнаружение утечек | |||||
| Производство ламп | Производство ламп | ||||
| Термообработка | |||||
| Вакуумная сушка | |||||
| Вакуумные печи | |||||
| Термоядерный синтез | |||||
| Ускорители частиц | |||||
| Моделирование космического пространства | |||||
| Физика элементарных частиц | |||||
| Нанотехнологии | Нанотехнологии | ||||
Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом
Магнитный подвес подразумевает, что шарики подшипника приподняты за счет исключительно магнитной силы и не касаются стенок. Магнитное поле имеет две составляющие – радиальную (3 мТл) и аксиальную (15 мТл). Такая конструкция насоса совершенно не требует смазки, обеспечивает высокую скорость вращения вала, крайне малые вибрации. Ротора насоса изготовлен из композитного материала: алюминия и углеродного волокна, что дополнительно снижает вес, повышает прочность и увеличивает надежность. Данные насосы можно использовать в том числе при откачке коррозионных газов, так как элементы проточной части защищены обработкой по специальной технологии.
Таблица 5
